PHENOM - DESKTOP SEM
Phenom Pro/ProX G6
Phenom Pro/ProX G6데스크탑 주사 전자 현미경은
최고의 일체형 이미징 및 X선 분석 시스템입니다.
독특하고 강력한 핵심 아키텍처는 하드웨어 및 소프트웨어 기능의
호스트와 결합하여 시장에서 가장 완벽한 데스크탑 SEM 솔루션을 제공합니다.
Superb Image Quality
Phenom SEM에 적용된 CeB 6 소스는 기존 텅스텐 SEM 소스보다 훨씬 더 밝고 오래 더 강한 빔을 생성합니다. 즉, 간편하게 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.
No User Maintenance
Phenom SEM은 사용 후 빔을 대기 상태로 유지 가능합니다. 사용할 때만 빔을 켜두어 전자총의 수명을 효율적으로 사용합니다. 텅스텐 기반 SEM과 달리 소스를 자주 변경할 필요가 없습니다. 한 번의 유지 관리로 몇 년 동안 사용합니다.
Ease of Use
Phenom SEM은 전자 이미지와 정확하게 연동된 전동식 스테이지 및 광학 스테이지 카메라로 정밀한 탐색 기능을 제공합니다.
Vibration Insensitivity
Phenom SEM은 진동에 둔감한 유일한 SEM입니다. 시끄러운 환경에서 사용할 수 있으며 특수 테이블이나 진동 차단 플랫폼이 필요하지 않습니다.
Speed to Image
샘플을 SEM에 로딩하고 30초 만에 라이브 SEM 이미지를 얻습니다. Phenom SEM은 혁신적인 로드락 스테이지 설계 덕분에 가장 빠른 로딩 시간을 가진 SEM입니다.
Low-Vacuum Mode
내장된 저진공 모드를 사용하여 추가 샘플 준비 또는 금 코팅 없이 비전도성 샘플을 이미지화합니다. 특별한 디텍터나 추가 비용이 필요하지 않습니다.
Easy Upgrade Path
옵션 소프트웨어 패키지 제품군을 사용하면 다양한 애플리케이션을 위한 자동화된 이미지 수집 및 처리가 가능합니다. 모든 Phenom SEM에는 자동 이미지 스티칭이 포함되어 있습니다.
Variety Sample Holders
Phenom P-Series 제품군은 전문적 분석 환경을 위한 다양한 기능을 가진 홀더를 지원합니다.
Live EDS analysis
Phenom 데스크탑 SEM은 Live EDS를 통하여 이미징 모드에서 포인트 클릭을 통해 즉각적인 정성 정량 데이터를 제공하며, EDS Line 및 EDS fast mapping을 포함한 고급 분석은 통합 EID 애플리케이션을 통해 편리하게 분석을 할 수 있습니다.
Fast Workflow
시스템은 항상 켜져 있고 이미지를 생성할 준비가 되어 있습니다. 샘플을 로드하고 초점이 맞춰진 SEM 이미지를 얻는 데 약 30초 소요됩니다.
Powerful Features
고급 전자 소스(CeB6)와 다중 감지기(SE, BSE, EDS)는 더 나은 데이터와 아름다운 이미지를 제공합니다.
Intuitive Software
이미징은 클릭 한 번으로 간단합니다. 원격으로 액세스할 수 있는 UI를 사용하여 기기를 실행하고 집에서 데이터를 수집할 수 있습니다.
| Models & Specification | ||||
|---|---|---|---|---|
| Items |  |
 |
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| Model | Phenom Pure | Phenom Pro.ProX | Phenom XL | Phenom Pharos |
| Electron Source | CeB6 crystal | CeB6 crystal | CeB6 crystal | Field-emission Filament |
| Max. Magnification | x175,000 | x350,000 | x200,000 | x2,000,000 |
| Resolution | 15nm SE 15nm BSE |
6nm SE 8nm BSE |
10nm SE 10nm BSE |
＜2nm SE 3nm BSE |
| Acceleration Voltages | 5~10 kV | 5~20 kV | 5~20 kV | 1~20 kV |
| Sample loading time | Light optical ＜5s Electon optical ＜30s |
Light optical ＜5s Electon optical ＜30s |
Light optical ＜5s Electon optical ＜60s |
Light optical ＜5s Electon optical ＜30s |
| Navigation Camera | ||||
| Motorized Stage | ||||
| Vacuum Options | High and Low vacuum sample holders | High and Low vacuum sample holders | High and Low vacuum sample holders (software selectable) | High and Low vacuum sample holders (software selectable) |
| Sample Handling | Sing pin stub 25 mm diameter |
Sing pin stub 25 mm diameter |
Up to 36 pin stubs 100 mm × 100 mm |
Sing pin stub 25 mm diameter |
| Detectors | BSE (Standard) SEM (Optional) EDS (Optional) |
BSE (Standard) SEM (Optional) EDS (Optional) |
BSE (Standard) SEM (Optional) EDS (Optional) |
BSE (Standard) SEM (Optional) EDS (Optional) |
| Dimensions (mm) | 286(W)×566(D)×495(H) | 286(W)×566(D)×495(H) | 286(W)×566(D)×495(H) | 286(W)×566(D)×495(H) |
| Shipping Weight | 50 kg | 42 kg | 60 kg | 44 kg |
