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ParticleX - Automated SEM

ParticleX - Automated SEM

Phenom ParticleX AM

EDS를 이용한 Automated SEMAdditive Manufacturing applictaion를 위한 입증된 솔루션입니다. 사용자는 입자 및 파티클들을 제조 공정을 위한 금속 분말의 가장 중요한 세 가지 특성인 입자 크기 분포 모니터링, 개별 입자 형태 표시 및 이물질 식별(성분)을 모니터링할 수 있습니다.
최소 및 최대 직경, 둘레, 종횡비, 거칠기 및 직경과 같은 다양한 크기 및 형상 매개변수를 측정합니다. 제공된 분석 방법을 통해 위성 입자, 구형 입자 및 변형 입자를 구별할 수 있습니다. 입자 크기 분포는 숫자 기반 또는 부피 기반으로 그릴 수 있습니다.
결합된 EDS를 통해 각 개별 입자의 원소 분석 및 분류가 가능하므로 모든 공정에서부터 분말에 있는 이물질을 쉽게 식별할 수 있습니다.

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  • Superb Image Quality

    Phenom SEM에 적용된 CeB 6 소스는 기존 텅스텐 SEM 소스보다 훨씬 더 밝고 오래 더 강한 빔을 생성합니다. 즉, 간편하게 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.

  • No User Maintenance

    Phenom SEM은 사용 후 빔을 대기 상태로 유지 가능합니다. 사용할 때만 빔을 켜두어 전자총의 수명을 효율적으로 사용합니다. 텅스텐 기반 SEM과 달리 소스를 자주 변경할 필요가 없습니다. 한 번의 유지 관리로 몇 년 동안 사용합니다.

  • Ease of Use

    Phenom SEM은 전자 이미지와 정확하게 연동된 전동식 스테이지 및 광학 스테이지 카메라로 정밀한 탐색 기능을 제공합니다.

  • Vibration Insensitivity

    Phenom SEM은 진동에 둔감한 유일한 SEM입니다. 시끄러운 환경에서 사용할 수 있으며 특수 테이블이나 진동 차단 플랫폼이 필요하지 않습니다.

  • Speed to Image

    샘플을 SEM에 로딩하고 30초 만에 라이브 SEM 이미지를 얻습니다. Phenom SEM은 혁신적인 로드락 스테이지 설계 덕분에 가장 빠른 로딩 시간을 가진 SEM입니다.

  • Low-Vacuum Mode

    내장된 저진공 모드를 사용하여 추가 샘플 준비 또는 금 코팅 없이 비전도성 샘플을 이미지화합니다. 특별한 디텍터나 추가 비용이 필요하지 않습니다.

  • Easy Upgrade Path

    옵션 소프트웨어 패키지 제품군을 사용하면 다양한 애플리케이션을 위한 자동화된 이미지 수집 및 처리가 가능합니다. 모든 Phenom SEM에는 자동 이미지 스티칭이 포함되어 있습니다.

  • Large Sample Holders

    Phenom XL 제품은 대형 시료, 다수의 시료를 한 번에 분석하기 위해 대형 홀더를 사용합니다.

  • The ASTM standards used in characterizing metal additive manufacturing material :

    산업 전반에 걸쳐 사용되는 금속 첨가제 분말을 준비하고 특성화하기 위한 다양한 ASTM 표준이 있습니다. 현미경 검사에 가장 관련성이 높은 ASTM 표준에는 B215-15 및 F1877-16이 있습니다. 첫 번째 표준은 벌크를 나타내는 적절한 양의 재료 수집에 대해 설명하고 두 번째 표준은 이 재료가 이후에 어떻게 특성화되는지에 대해 설명합니다. 이러한 각 표준에 대한 요약은 다음과 같습니다.

    ASTM B215-15 : Standard Practice for Sampling Metal Powders
    이 표준은 전체 재료 배치를 대표할 수 있도록 소량의 금속 분말을 수집하는 방법을 다룹니다. 금속 분말의 시험 부분을 구하는 표준화된 방법은 용기를 채우는 동안 및 충전 후에 금속 분말의 분리 가능성을 고려하여 적용됩니다.
    ASTM F1877-16 : Standard Practice for Characterization of Particles
    이 표준은 입자의 형태, 양, 크기 및 크기 분포를 특성화하기 위한 적절한 절차를 다룹니다. 이 표준에는 SEM 특성화 방법이 포함되어 있습니다. 이 표준은 등가 원 직경(ECD), 종횡비(AR), 연신율(E), 진원도(R) 및 폼 팩터(FF)를 포함한 중요한 매개변수 형태 매개변수를 정의하고 설명합니다.

  • Revisit accuracy better than 7 micron!

Models & Specification
Models & Specification
Items
Model Phenom PaticleX AM Phenom PaticleX TC Phenom Perception GSR Phenom ParticleX Battery
Electron Source CeB6 crystal CeB6 crystal CeB6 crystal CeB6 crystal
Max. Magnification x200,000 x200,000 x200,000 x200,000
Resolution 10nm SE
10nm BSE
10nm SE
10nm BSE
10nm SE
10nm BSE
10nm SE
10nm BSE
Acceleration Voltages 5~20 kV 5~20 kV 5~20 kV 5~20 kV
Sample loading time Light optical <5s
Electon optical <60s
Light optical <5s
Electon optical <60s
Light optical <5s
Electon optical <60s
Light optical <5s
Electon optical <60s
Navigation Camera
Motorized Stage
Vacuum Options High and Low vacuum sample holders
(software selectable)
High and Low vacuum sample holders
(software selectable)
High and Low vacuum sample holders
(software selectable)
High and Low vacuum sample holders
(software selectable)
Sample Handling Up to 36 pin stubs
100mm×100mm
Up to 36 pin stubs
100mm×100mm
Up to 36 pin stubs
100mm×100mm
Up to 36 pin stubs
100mm×100mm
Detectors BSE (Standard)
SEM (Optional)
EDS (Optional)
BSE (Standard)
SEM (Optional)
EDS (Optional)
BSE (Standard)
SEM (Optional)
EDS (Optional)
BSE (Standard)
SEM (Optional)
EDS (Optional)
Dimensions (mm) 286(W)×566(D)×495(H) 286(W)×566(D)×495(H) 286(W)×566(D)×495(H) 286(W)×566(D)×495(H)
Shipping Weight 42 kg 42 kg 42 kg 42 kg
Classification reference Automated Classification Technical Cleanness Gun shot residue Battery Classification
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