Software Integrated Controls

이미지 화면에서 기울기와 각도를 쉽게 조정할 수 있습니다.

Compucentric Rotation

Working Distance와 Y 위치가 자동으로 보정되어 카메라의 초점을 유지합니다.

-10° to 45° Tilt

기울기 기능은 코팅, 에칭, 단면, bond pads 등을 분석하는 데 유용합니다.

360° Rotation

0.2 스텝 단위의 회전 기능을 제공하여 샘플 위치에서 높은 수준의 정밀도를 보장합니다.

ChemiSEM Technology

ChemiSEM은 샘플에서 구성 정보의 수집, 처리 및 표시를 간소화하는 EDS 분석에 대한 근본적으로 새로운 접근 방식입니다. 빔을 켜자마자 이미지의 색상을 통해 정량적 원소 정보를 관찰할 수 있습니다. ChemiSEM은 전용 하드웨어를 사용하여 X선과 영상 신호를 실시간으로 통합합니다. 특징 인식 알고리즘은 전체 해상도에서 지능적으로 이미지를 채색하기 위해 그레이스케일 이미지와 함께 사용되며, 고급 스펙트럼 처리 알고리즘은 X선 데이터에 사용되어 모든 픽셀에 정량적으로 정확한 구성 정보가 포함되도록 합니다.

Unmatched Sample Capacity

Axia ChemiSEM은 새로운 수준의 견고성과 유연성을 제공하는 전체 챔버에 대한 액세스를 제공하는 도어와 함께 대용량 샘플을 제공합니다. 새로운 디자인 덕분에 Axia ChemiSEM은 최대 10kg의 가장 높은 무게를 수용하므로 샘플을 절단하는 시간을 절약하고 시간이 오래 걸리고 쓸모없는 샘플 준비를 방지할 수 있습니다.

- 5-axis motorized, compucentric stage
- 120×120 min X-Y, Z-axis travel 55 mm (@ 0˚ tilt)
- Tilt -15˚ to +90˚
- Max. sample height : 128 mm @ 10 mm analytical WD.
- Max. sample width : 267 mmMax. sample weight 10 kg

Wide Range of Standard Detectors

모든 Axia에는 최대의 유연성을 위해 3개의 감지기(SED, BSD 및 EDS)와 2개의 카메라(컬러 탐색 카메라 및 IR 챔버 카메라)가 기본으로 제공됩니다. 시스템의 5개 추가 챔버 포트 중 하나에 설치할 수 있는 음극발광(범 크로매틱, RGB 및/또는 스펙트럼 CL), EBSD 및 상관현미경(CLEM) 을 포함한 광범위한 추가 검출기도 사용할 수 있습니다.

User-Friendly Software

Axia ChemiSEM은 특히 EDS 획득과 관련하여 명확하고 간단한 작동에 중점을 둡니다. ChemiSEM 기술은 EDS 맵을 수집하는 데 걸리는 시간을 절반으로 줄입니다. 아래 비디오에서 사용자는 80x에서 2000x로 확대하고 체류 시간을 늘려 선명한 이미지를 수집한 다음 ChemiSEM으로 전환하여 실시간으로 채색된 정량적 EDS 매핑을 30초 만에 완료합니다!