PHENOM - DESKTOP SEM
Charge Reduction Sample Holder
Charge Reduction 홀더는 시료 차징을 줄이고 비전도성 시료의 추가 시료 준비를 없애도록 설계되었습니다.
비전도성 시료를 코팅을 입히지 않고도 분석 할 수 있습니다. 종이, 폴리머, 유기 물질, 세라믹, 유리, 코팅과 같은 물질을 BSD로 쉽게 이미징 할 수 있습니다.
Phenom SEM 컬럼의 설계는 Charge Reduction Sample Holder를 사용해도 소스의 수명에 영향을 미치지 않도록 보장합니다.
Improve Image Quality
Charging 현상 없이 고배율 이미지를 획득 가능합니다.
Avoid Sample Preparation
부도체 시료를 코팅 없이 EDS 분석 가능합니다.
Maintain SEM Performance
소스 수명에 부정적인 영향이 없습니다.
Image Larger Samples
최대 직경 25mm, 높이 30mm의 시료까지 사용 가능합니다.
ChemiSEM Technology
ChemiSEM은 샘플에서 구성 정보의 수집, 처리 및 표시를 간소화하는 EDS 분석에 대한 근본적으로 새로운 접근 방식입니다. 빔을 켜자마자 이미지의 색상을 통해 정량적 원소 정보를 관찰할 수 있습니다. ChemiSEM은 전용 하드웨어를 사용하여 X선과 영상 신호를 실시간으로 통합합니다. 특징 인식 알고리즘은 전체 해상도에서 지능적으로 이미지를 채색하기 위해 그레이스케일 이미지와 함께 사용되며, 고급 스펙트럼 처리 알고리즘은 X선 데이터에 사용되어 모든 픽셀에 정량적으로 정확한 구성 정보가 포함되도록 합니다.
Unmatched Sample Capacity
Axia ChemiSEM은 새로운 수준의 견고성과 유연성을 제공하는 전체 챔버에 대한 액세스를 제공하는 도어와 함께 대용량 샘플을 제공합니다. 새로운 디자인 덕분에 Axia ChemiSEM은 최대 10kg의 가장 높은 무게를 수용하므로 샘플을 절단하는 시간을 절약하고 시간이 오래 걸리고 쓸모없는 샘플 준비를 방지할 수 있습니다.
- 5-axis motorized, compucentric stage
- 120×120 min X-Y, Z-axis travel 55 mm (@ 0˚ tilt)
- Tilt -15˚ to +90˚
- Max. sample height : 128 mm @ 10 mm analytical WD.
- Max. sample width : 267 mmMax. sample weight 10 kg
Wide Range of Standard Detectors
모든 Axia에는 최대의 유연성을 위해 3개의 감지기(SED, BSD 및 EDS)와 2개의 카메라(컬러 탐색 카메라 및 IR 챔버 카메라)가 기본으로 제공됩니다. 시스템의 5개 추가 챔버 포트 중 하나에 설치할 수 있는 음극발광(범 크로매틱, RGB 및/또는 스펙트럼 CL), EBSD 및 상관현미경(CLEM) 을 포함한 광범위한 추가 검출기도 사용할 수 있습니다.
User-Friendly Software
Axia ChemiSEM은 특히 EDS 획득과 관련하여 명확하고 간단한 작동에 중점을 둡니다. ChemiSEM 기술은 EDS 맵을 수집하는 데 걸리는 시간을 절반으로 줄입니다. 아래 비디오에서 사용자는 80x에서 2000x로 확대하고 체류 시간을 늘려 선명한 이미지를 수집한 다음 ChemiSEM으로 전환하여 실시간으로 채색된 정량적 EDS 매핑을 30초 만에 완료합니다!
Model | Axia ChemiSEM |
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Electron Source | Pre-centered and pre-heated tungsten filament |
Imaging Resolution (SE) | 3 nm @ 30 kV 8 nm @ 3 kV |
Stage Axes | XYZTR XY : 120×120 mm Z : 55 mm Tilt : -15˚ to +90˚ |
Max Sample Size (ZTR Axes Removed) | 240×280×128 mm 10 kg |
Standard Detectors | Everhart-Thornley SE Detector Retractable BSE detector (2 Segment) TrueSight X EDS detector with ChemiSEM technology Color optical navigation camera IR chamber camera |
Vacuum Options | High vacuum (standard) Variable pressure up to 150 Pa (optional, includes low vacuum detector) |
Customizability | Five available chamber ports. Optional EBSD or cathodoluminescence. |