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한국입자분석연구소는 2월 11일부터 2월 13일까지 서울 코엑스에서 열린 SEMICON KOREA 2026에 Thermo Fisher Scientific 부스로 참가했습니다.

SEMICON KOREA는 반도체 소재, 공정, 장비 및 분석 기술을 아우르는 국내 최대 규모의 반도체 산업 전시회로, 매년 글로벌 반도체 기업과 연구기관, 산업 관계자들이 대거 참석하는 행사입니다.

이번 전시회에서 한국입자분석연구소는 자동화 SEM 입자 분석 솔루션 ‘ParticleX’ 장비를 현장에 직접 전시하고 실시간 데모를 진행했습니다. 관람객들은 장비 실물을 직접 확인하며 자동 분석 프로세스, 입자 검출 및 분류 과정, 분석 결과 리포트 생성 과정을 현장에서 체험할 수 있었습니다.

특히 반도체 공정 중 발생하는 이물 분석, 결함 원인 규명, 청정도(Technical Cleanliness) 관리와 관련하여 많은 관심이 이어졌으며, 자동화 분석을 통한 생산성 향상과 재현성 확보에 대한 문의가 활발히 이루어졌습니다.

부스에서는 실제 적용 사례를 중심으로 기술 상담을 진행하며, 공정별 분석 요구사항에 맞춘 솔루션 제안이 이루어졌습니다. 기존 수작업 기반 분석 방식과 비교했을 때 ParticleX의 자동화 기능이 제공하는 효율성과 정확성에 대해 많은 방문객들이 긍정적인 반응을 보였습니다.

이번 SEMICON KOREA 참가를 통해 한국입자분석연구소는 반도체 산업 내 자동화 분석 기술의 필요성과 적용 가능성을 다시 한번 확인할 수 있었으며, 앞으로도 현장 중심의 분석 솔루션과 기술 지원을 지속적으로 확대해 나갈 계획입니다.

전시 기간 동안 부스를 방문해주신 모든 분들께 감사드립니다.